歐傑電子能譜儀

設備/設施: Instrument Center

  • 地點

    No.1, University Road, Tainan City, Taiwan (R.O.C.) 701

Description

本設備採用電子束光源為Schottky Emission Cathode與一般掃描式電子顯微鏡一樣具有二次電子影像(Secondary Electron Image, SEI)功能及原理,且其搭配筒鏡能量分析器(Cylindrical Mirror Analyzer, CMA)可對於被電子束所激發出的歐傑電子偵測,藉由AES分析可分辨從原子序3Li起對樣品做定性及定量分析。與EDS成分分析深度差異在於EDS為um等級而歐傑電子為nm等級成分分析,因此對於表面分析是非常靈敏,可應用於析出物、氧化層或蝕刻分析等。

詳細資料

名字歐傑電子能譜儀