設備詳細資料
Description
本儀器由掃描式電子顯微鏡(FE-SEM)與聚焦式離子束顯微鏡(FIB)及能量分散式光譜分析儀(EDS)所組成。能提供試件樣品在高/低加速電壓之掃描觀察可獲得超高解析影像之能力，加速電壓15kV解像力1nm、1kV、1.9nm。裝設聚焦離子束，可進行切削及同步影像觀察。同時加裝EDS電腦分析系統，以擷取高解析數位影像及成份定性、定量等分析。影像及分析檔案資料均能系統化存檔，並透過網路安全傳輸至使用者。
儀器規格：
熱場效燈絲( Schottky emitter ) Acceleration Voltage： from 0.1KV to 30 KV.(Continuous mode)
二次電子像 (SE)解析度 Better than 1.0 nm at 15kV in high vacuum operating mode. Better than 1.9 nm at 1kV in high vacuum operating mode.
倍率範圍12 X to 1,000,000 X（SE Mode）
五軸電腦馬達控制台 X 軸移動距離100 mm．Y 軸移動距離 100 mm Z 軸移動距離 50 mm‧旋轉連續360°．T軸-10度至60度
EDS偵測範圍B到Am．Resolution:125
儀器規格：
熱場效燈絲( Schottky emitter ) Acceleration Voltage： from 0.1KV to 30 KV.(Continuous mode)
二次電子像 (SE)解析度 Better than 1.0 nm at 15kV in high vacuum operating mode. Better than 1.9 nm at 1kV in high vacuum operating mode.
倍率範圍12 X to 1,000,000 X（SE Mode）
五軸電腦馬達控制台 X 軸移動距離100 mm．Y 軸移動距離 100 mm Z 軸移動距離 50 mm‧旋轉連續360°．T軸-10度至60度
EDS偵測範圍B到Am．Resolution:125
詳細資料
| 名字 | 高解析場發射掃描式電子顯微鏡 |
|---|---|
| 擷取日期 | 11-03-29 |
| 停用日期 | 21-03-29 |
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指紋
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