雙面對準/UV光感奈米壓印機

UV壓印技術基本上是先行製作奈米圖案於可透UV光之模板上，隨即將高分子均勻塗佈於基板上；在利用先前製作之具有奈米圖案之模板以適當的力量施壓於所使用之基板上；並施以紫外光（ultraviolet, UV）照射單體使之行高分子聚合反應而固化。使阻劑圖案化於所需之基板上；再以RIE將阻劑圖案轉移至欲圖案化之基板上，如此即可的奈米圖案於所需的基板上。