雙束型聚焦離子束儀 I

    設備/設施: Center for Micro/Nano Science and Technology

    • 地點

      No.1, University Road, Tainan City 701, Taiwan (R.O.C.) 701

      Taiwan

    Description

    定點縱剖面切割、選擇性的材料表面蒸鍍處理、強化性蝕刻或選擇性蝕刻、試片準備、元素成份分析

    詳細資料

    名字雙束型聚焦離子束儀 I
    擷取日期07-07-19

    指紋

    beam currents
    ion beams
    gallium
    ions
    electrons