設備詳細資料
Description
本中心的前瞻聚焦離子束系統為雙束型離子束。所謂雙束型是指具有「電子束」與「離子束」。電子束即為掃描式電子顯微鏡,而離子束基本原理與SEM類似,僅是所使用的粒子不同(e- vs. Ga+)與透鏡型式(磁透鏡vs.靜電透鏡)位置不同。

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詳細資料
名字 | 雙束型聚焦離子束儀 II |
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擷取日期 | 16-12-30 |