雙束型聚焦離子束儀 II

    微奈米科技研究中心

    設備/設施: Center for Micro/Nano Science and Technology

    • 地點

      No.1, University Road, Tainan City 701, Taiwan (R.O.C.) 701

      Taiwan

    設備詳細資料

    Description

    本中心的前瞻聚焦離子束系統為雙束型離子束。所謂雙束型是指具有「電子束」與「離子束」。電子束即為掃描式電子顯微鏡，而離子束基本原理與SEM類似，僅是所使用的粒子不同（e- vs. Ga+）與透鏡型式（磁透鏡vs.靜電透鏡）位置不同。
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    詳細資料

    名字雙束型聚焦離子束儀 II
    擷取日期16-12-30

    連絡方式

    連結Website

    貸款/訂閱條款

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