雙束型聚焦離子束儀 II

    設備/設施: Center for Micro/Nano Science and Technology

    • 地點

      No.1, University Road, Tainan City 701, Taiwan (R.O.C.) 701

      Taiwan

    Description

    本中心的前瞻聚焦離子束系統為雙束型離子束。所謂雙束型是指具有「電子束」與「離子束」。電子束即為掃描式電子顯微鏡,而離子束基本原理與SEM類似,僅是所使用的粒子不同(e- vs. Ga+)與透鏡型式(磁透鏡vs.靜電透鏡)位置不同。

    詳細資料

    名字雙束型聚焦離子束儀 II
    擷取日期16-12-30