雙束型聚焦離子束儀 II

本中心的前瞻聚焦離子束系統為雙束型離子束。所謂雙束型是指具有「電子束」與「離子束」。電子束即為掃描式電子顯微鏡，而離子束基本原理與SEM類似，僅是所使用的粒子不同（e- vs. Ga+）與透鏡型式（磁透鏡vs.靜電透鏡）位置不同。