電子束微影系統

    設備/設施: Center for Micro/Nano Science and Technology

    • 地點

      No.1, University Road, Tainan City 701, Taiwan (R.O.C.) 701

      Taiwan

    Description

    "•不須光罩即可製作>10 nm之奈米圖案 • 高解析度之電子顯微功能 (500,000X)• 高精密度載台定位系統 (0.6 nm)• 使用PC系統以及相容AutoCAD"

    詳細資料

    名字電子束微影系統
    擷取日期11-04-22

    指紋

    lithography
    electron beams
    positioning
    interferometers
    lasers