橢圓偏光儀

    設備/設施: Center for Micro/Nano Science and Technology

    • 地點

      No.1, University Road, Tainan City 701, Taiwan (R.O.C.) 701

      Taiwan

    Description

    利用橢圓偏光量測透明或半透明之薄膜,藉由量測到之偏極光的狀態改變,量測薄膜的膜厚〈量測範圍約數奈米~數微米之厚度〉、折射率及消光係數相關等資訊

    詳細資料

    名字橢圓偏光儀
    擷取日期11-06-08