高解析熱場發射掃描式電子顯微鏡 I

    設備/設施: Center for Micro/Nano Science and Technology

    • 地點

      No.1, University Road, Tainan City 701, Taiwan (R.O.C.) 701

      Taiwan

    Description

    本電腦化操作之高解析場發射掃描式電子顯微鏡,其特點為以熱場發射電子槍產生能量均一之電子束。能提供金屬材料及電子材料等,於高倍率下之二次電子影像(SEI)及背反電子影像(BEI)之表面型態觀察。本機台同時配置有能量分散光譜儀(EDS)能做元素成分之定性及半定量分析之工作。

    詳細資料

    名字高解析熱場發射掃描式電子顯微鏡 I

    指紋

    cathodoluminescence
    lenses
    scanning electron microscopy
    high resolution
    electron guns
    electron probes
    thermal emission
    magnification
    field emission
    backscattering
    electrons
    lithography
    fine structure
    electron beams
    energy
    electronics