多功能環境場發掃描式電子顯微鏡

本儀器結合日本HITACHI SU-5000熱場效型高解析場發射型掃描式電子顯微鏡、美國EDAX能量散射光譜儀(EDS)及電子背向繞射儀(EBSD)，可做為各式材料表面影像及形貌觀察、快速元素定性、半定量分析、元素分布分析、晶體結構分析等，是目前最先進之複合型電子顯微鏡之一，在應用上極為廣泛。