多功能X光薄膜微區繞射儀

材料分析

多功能高功率薄膜微區X光繞射儀(Bruker D8 Discover)，使用布魯克公司新一代的旋轉式陽極(rotating anode), 繞射儀可進行薄膜低掠角繞射(Glancing Incident angle Diffraction)，磊晶樣品的高解析度(High Resolution Diffraction)量測添加濃度及厚度，薄膜材料或金屬材料的殘留應力(Residual stress)，以及方向性組織研究的極圖(Pole figure texture)測定，高解析度繞射亦可進行磊晶薄膜Rocking curve測定而確定其成長方向性的一致性，X光反射率(Reflectivity)量測薄膜厚度/密度及介面粗糙度。
另外在偵測器的部份亦使用最新的半導體高解析度偵測器(Lynxeye-XET), 其最大的特色是具有很好的能量解析度(~380eV，一般閃爍計數器為1600eV)，可藉由能窗的調整，以不使用單光器而達到去除因樣品中含鐵、鈷、鎳、錳等材料而產生高背景的狀況，同時偵測器亦可以由電腦設定變更其0D、1D的偵測模式，對於一台設備做多項研究時提供了最大的彈性。