奈米壓痕試驗機 I (含三維量測)

Nano indenterXP具有獨家CSM量測系統，可精確的量測材料硬度值、彈性係數等，有高解析度定位平台與程式化路徑設定功能，因此可量測到基材上面的沉積薄膜性質，並有nano等級的精密定位載台，可做試片表面形貌量測。