光學顯微鏡

    設備/設施: Center for Micro/Nano Science and Technology

    • 地點

      No.1, University Road, Tainan City 701, Taiwan (R.O.C.) 701

      Taiwan

    Description

    "1.光罩網板尺寸檢查、表面瑕疵觀察。
    2.元件橫截面結構觀察。
    3.半導體製程線寬量測。
    4.多層結構堆疊錯位觀察。
    5.差排線與過蝕刻觀察。
    6.生物組織形貌觀測。
    7.活細胞內部構造隨時間變化觀測。"

    指紋

    optical microscopes
    surface defects
    laminates
    inspection
    masks
    etching