二次離子質譜儀

材料表面成分分析及樣品結構之元素縱深分析

1．廠牌及型號：法國 Cameca，IMS - 6f ‧

2．重要規格：扇型磁場式質譜儀，有O2+, Cs+及Cs-等離子源，解析度≒10,000，質量範圍≒300(99年5月修正)

3．主要附件：

　 (1)． Windows電腦系統；

　 (2)．電子槍系統；

　 (3)．CCD影像系統。

4．儀器性能：可以針對不同元素作縱深分佈和表面分析。