旋轉塗佈儀 II

    設備/設施: Center for Micro/Nano Science and Technology

    • 地點

      No.1, University Road, Tainan City 701, Taiwan (R.O.C.) 701

      Taiwan

    Description

    利用離心力將光阻均勻塗佈到試片。

    詳細資料

    名字旋轉塗佈儀 II
    擷取日期15-03-24

    指紋

    centrifugal force
    photoresists
    wafers