晶圓切割機

    設備/設施: Center for Micro/Nano Science and Technology

    • 地點

      No.1, University Road, Tainan City 701, Taiwan (R.O.C.) 701

      Taiwan

    Description

    Disco DAD-321 切割機是日本 Disco 公司的產品, 它在半導體晶圓及微機電系統製造完成過渡到電子構裝的過程當中扮演重要的角色, 它可沿基板上元件及元件之間做精密切割, 堪稱切割的利器, 其功能不只如此, 它也可對矽基板進行試片、元件之精準切割, 對於不同基板時, 更提供玻璃、石英及高分子三種厚板的選擇。

    詳細資料

    名字晶圓切割機
    擷取日期00-12-30

    指紋

    polymer
    glass
    quartz
    substrate
    water
    cutting (process)
    material
    microelectronics