微奈米科技研究中心

國立成功大學

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1&2吋化學氣相沉積石墨烯設備
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設備/設施: Center for Micro/Nano Science and Technology
3吋化學氣相沉積石墨烯設備
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設備/設施: Facility
3吋化學氣相沉積石墨烯設備
微奈米科技研究中心
設備/設施: Center for Micro/Nano Science and Technology
CO2雷射雕刻系統
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設備/設施: Center for Micro/Nano Science and Technology
In-Situ 奈米壓痕試驗機
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設備/設施: Center for Micro/Nano Science and Technology
X光繞射儀
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設備/設施: Center for Micro/Nano Science and Technology
二氧化碳超臨界乾燥機
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設備/設施: Center for Micro/Nano Science and Technology
化學濕式操作台
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設備/設施: Center for Micro/Nano Science and Technology
反應式離子蝕刻機
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設備/設施: Center for Micro/Nano Science and Technology
半導體元件量測平台
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打線機
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光學顯微鏡
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全彩觸控式超音波細胞破碎機 (Ultrasonic Processor )
Tien-Chun Tsai (Manager)
儀器設備中心
設備/設施: Instrument Development Center
共濺鍍機
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多功能掃描式探針顯微鏡
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多光子激發掃描顯微鏡
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奈米深蝕刻系統
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奈米粒子追蹤分析儀
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奈米壓印-熱壓成型奈米轉印機
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奈米壓痕試驗機 I (含三維量測)
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奈米壓痕試驗機 II
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奈微拉伸試驗機
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拉曼光譜儀/顯微鏡
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表面粗度儀
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金屬蝕刻系統
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