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楊 天祥

Professor

 https://orcid.org/0000-0003-3624-312X
  • 525 引文
  • 13 h-指數
1990 …2019
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研究成果 1990 2019

  • 525 引文
  • 13 h-指數
  • 44 Article
  • 8 Conference contribution
  • 1 Paper
  • 1 Review article
篩選
Review article
2004
1 引文 (Scopus)

Analysis of Experimental Data for Metallic Impurity Out-Diffusion from Deep-UV Photoresist

Yang, T-S., Hsu, N. T., Chen, K-S. & Ko, F. H., 2004 三月 4, 於 : Journal of the Electrochemical Society. 151, 2

研究成果: Review article

baking
Photoresists
photoresists
Impurities
impurities