以液相沈積法在各式化合物半導體基板上成長二氧化矽膜之研究

Houng, Mau-phon (PI)

奈米積體電路工程碩士學位學程

研究計畫: Research project

狀態	已完成
有效的開始/結束日期	97-08-01 → 98-07-31