具四自由度之新型主動式FSM雷射光源補償系統的設計與功能驗證

本計畫將開發一套國內自主的主動式fast steering mirrors (FSM)雷射光源補償系統，其具有高反應、高頻寬與高定位精度的特性。其目的是提升雷射光束品質。目前國內並無廠商亦或是學者針對雷射光源補償系統之機制進行研究，雷射光源補償系統需仰賴進口，雷射光源補償系統由於其獨佔性與高單價特性，使得國內中小企業難以取得。此系統之核心技術在於其光學設計、馬達設計、光機電整合與誤差補償演算法。因此若能自行開發完成主動式FSM雷射光源補償系統，並技轉給國內廠商，將使得國內廠商能自主開發主動式FSM雷射光源補償系統之相關軟體與硬體設備，預期能帶動本土相關產業之進步。