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具射頻功率匹配狀態偵測與動態調控機制之電漿製程設備用阻抗匹配器研究
Lee, Jia-You
(PI)
電機工程學系
研究計畫
:
Research project
概覽
專案詳細資料
狀態
已完成
有效的開始/結束日期
19-08-01
→
20-07-31
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