具有奈米級催化金屬與二氧化矽顆粒修飾表面之蕭特基二極體式氣體感測器之研製

本計畫為一二年期研究計畫，第一年將著重於雙重催化金屬之應用。首先於一蕭特基二極體表面上蒸鍍一層催化金屬(如Pd)，然後再以快速熱蒸鍍法形成另一種催化金屬(如Pt)之奈米顆粒。結合雙催化金屬之優異特性及大幅增加有效表面積，相信能明顯地改善氣體感測性能。本計畫第二年則擬以快速對流沉積法形成SiO2奈米顆粒於催化金屬薄膜表面，然後再以快速蒸鍍法於SiO2奈米顆粒上形成催化金屬薄膜或奈米顆粒。相信藉由比表面積之增加與催化金屬之優異活性，能大幅提昇相關之氣體感測特性。