具有奈米級催化金屬與二氧化矽顆粒修飾表面之蕭特基二極體式氣體感測器之研製

氣體感測器為工業發展、民生應用及永續環保生態之重要利器，傳統之氣體感測器具有體積龐大、選擇性差、價格昂貴等缺點。本計畫所研製之氣體感測器結合半導體製程與奈米科技之精華，具有感測特性佳、反應速度快、選擇性佳、體積輕薄短小等優點。相信其在氫氣與氨氣等具有可燃性、危險性氣體之偵測上將會呈現優越之性能。對國內經濟、民生、國防、環保及學術發展將具有相當程度之貢獻。