幾何光學長行程線性軸六自由度誤差量測系統之開發

本計畫將開發一套國內自主，利用幾何光學原理設計的長行程六自由度量測系統。其主要目的是利用幾何光學來取代干涉技術，進行長行程線性軸定位誤差的量測，並同時量測出其他五自由度誤差。現今，應用干涉技術原理的六自由度誤差量測設備仍需仰賴進口，且由於其獨佔性與高單價特性，使得國內中小企業難以取得。此系統之核心技術在於其光路設計、歪斜光線追跡法、與誤差解耦合技術。因此若能自行開發完成具有專利保護的幾何光學長行程線性軸六自由度誤差量測系統，並技轉給國內廠商，將使得國內廠商能自主開發該系統之相關設備，預期能將此技術自主化與國產化，進而帶動本土相關產業之進步，提升本國精密量測技術應用之競爭力。