應用於矽長晶石英坩堝之耐高溫防沾黏抗侵蝕氮化硼層合成技術開發

  • Chung, Shyan-Lung (PI)

研究計畫: Research project

專案詳細資料

狀態已完成
有效的開始/結束日期19-08-0120-07-31