準分子雷射之多晶矽薄膜製程研究:多晶矽凝固微結構之成核與成長的數值與實驗分析

  • Chao, Long-Sun (PI)

研究計畫: Research project

專案詳細資料

狀態已完成
有效的開始/結束日期07-08-0108-07-31