陣列式深紫外光發光二極體之開發

利用本團隊首創之低成本與新穎性的低溫氣相冷凝系統成長高品質氧化鎵基薄膜，並且將其應用於深紫外光發光二極體，整合成長高品質氧化鎵、p型氧化鎂鎵、n型氧化鉿鎵薄膜、氧化鋁鎵/氧化鎵多重量子井結構、金屬反射鏡與陣列式結構可以有效大幅增加深紫外光發光二極體的出光量度、出光強度、出光效率與可大面積照射。並透過與其它子計畫整合，可以積體化電路與模型，製作高性能之殺菌設備。藉由低成本的低溫氣相冷凝系統可以降低製程成本，且製作之陣列式深紫外光發光二極體具有高效率，其可大幅縮短殺菌時間，可提升氧化鎵半導體薄膜之電子元件效能，亦可提升產業之競爭力。