ITO靶材的表面行為，耐磨耗性能和三體理論之研究

透明導電薄膜的應用領域逐年的增加，市場的需求也不斷地在放大，其可見的市場規模在2022年將達到650億美元。世界知名的大廠也都投入資源在如何提昇導電薄膜的特性上，包含了材料特性以及製程的優化上。此計畫以六個主軸，十七個步驟進行導電薄膜特性提昇計畫。以ITO粉末製備開始，開發奈米氧化銦及奈米氧化錫的材料製程，研究以提昇後續奈米顆粒的混合及流動性為主要目的。藉由材料及結構特性分析，提出奈米顆粒合最佳化製程參數。接著將探討氧化銦及氧化錫的漿料製程以及分散和穩定技術，可調變的參數有混成比例，目標是漿料的穩定度以及混合製粉均勻度。將上述的混成顆粒進行成型及燒結，此部份將以淨形(near shape)的製程為評估重點。因應大型靶材的需求，靶材本身的抗磨耗特性將在此計畫中被觀察。我們導入表面型態以及三體理論對於靶材各種表面、能量、磨潤等特性進行評估。此部份的成果與電性量測的結果相互比對後，將以透明塗層的導電特性及穿透性最佳化為目的，進行製程參數的最佳化。 此計畫的目的在於開發ITO靶材的最佳化製程。從最初的粉末製程、漿料製程、分散劑的選擇，燒結的流程、耐磨耗的行為，到表面的特性以及磨潤的機制都會進行系統性的研究。研究成果不僅能發表在國際重要的學術期刋且有專利的潛力，目的在提昇國內透明導電薄膜相關產業的技術能力。長期的目標是經由嚴謹的計畫執行，徹底地瞭解靶材製程與特性(電導率，透明度、耐磨耗特性)之間的關係，建立業界可運用的技術層次，達到提昇台灣的國際競爭力的目的。