介電微粒操控晶片與其製造方法和操控介電微粒的方法

研究成果: Patent

摘要

一種介電微粒操控晶片與其製造方法和操控介電微粒的方法。該介電微粒操控晶片包含一晶片本體、間隔設置於該晶片本體中且皆呈指叉狀之一第一電極層與一第二電極層,及一設置固定於該晶片本體並覆蓋該第一電極層與該第二電極層的介電層。且該第一電極層之第一指叉電極部是與該第二電極層之第二指叉電極部彼此間隔地交錯排列分佈。透過於指叉狀第一電極層與第二電極層上方被覆遮蔽一層介電層的設計,使得該介電微粒操控晶片可透過正介電泳力場與交流電滲流力場的相互作用來有效地操控介電微粒。
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專利號I507803
出版狀態Published - 1800

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