以添加鋁之鐵矽催化劑製造準直性奈米碳管

Jyh-Ming Ting (Inventor)

研究成果: Patent

摘要

本發明係提供一種準直性奈米碳管之製造方法,其包含下列步驟:(a)提供一基板;(b)披覆一鋁薄膜於前述基板上做為中介層(interlayer);(c)披覆一鐵矽合金薄膜於前述鋁薄膜上;(d)將前述基板置於化學氣相沉積系統中;及(e)於前述化學氣相沉積系統中通入含碳氣體及平衡氣體,以反應生成奈米碳管。
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專利號I352688
出版狀態Published - 1800

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