六自由度微/奈米定位平台

本發明六自由度微/奈米定位平台以線性馬達結合楔形機構定位一水平運動平台(XZ軸平面)，該水平運動平台上加一精密旋轉伺服平台以控制垂直旋轉軸(θy)，該精密旋轉伺服平台上安裝一三自由度並聯式機構(θx、θz和Y軸)，俾使該六自由度徵/奈米定位平台具有六個運動自由度；其中使用並聯式機構可使本發明平台有較大之承載能力，使用水平運動平台、旋轉伺服平台及並聯式機構之串聯式結構可使本發明平台能有足夠之運動範圍，使用線性馬達可使水平運動平台具有高速的定位速度，而利用楔形機構則可使水平運動平台會有更高的定位精度。