場效電晶體式氫氣感測器

Huey-Ing Chen (Inventor), Wen-Chau Liu (Inventor)

研究成果: Patent

摘要

本發明是感測氫氣濃度的場效電晶體式氫氣感測器,包括有以半導體材料構成的基板單元、以半導體材料形成於基板單元上供電子流動的電子流動單元,及由肖特基接觸層及與肖特基接觸層電連接之電極構成的電性控制輸出單元,電極包括以鈀形成之閘極端子與以金-鍺-鎳合金形成的源極端子與汲極端子,當氫接觸到閘極端子時使得閘極端子的電性改變,從而調變電子流動單元中電子流動的密度,進而使得場效電晶體式氫氣感測器的電流-電壓特性產生變化,而可感測環境中氫氣的濃度。
原文???core.languages.zh_TW???
專利號I269034
出版狀態Published - 1800

引用此