| 貢獻的翻譯標題 | THE LOW-STRESS POLISHING APPARATUS WITH PIEZOELECTRIC ACTUATOR |
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| 原文 | ???core.languages.zh_TW??? |
| 專利號 | I270131 |
| IPC | H01L-021/302 |
| 優先日期 | 25-09-28 |
| 提交日期 | 05-09-29 |
| 出版狀態 | Published - 2007 1月 1 |
壓電式低應力拋光裝置
范 陽鑑 (Inventor), Yeau-Ren Jeng (Inventor), 蔡 孟勳 (Inventor), 潘 文玨 (Inventor), 賴 哲雄 (Inventor)
研究成果: Patent