晶體管組件及其製造方法

Huey-Ing Chen (Inventor), Wen-Chau Liu (Inventor)

研究成果: Patent

摘要

一种晶体管?件及其制造方法,??件包括:一半?体基板、一汲极、一源极、一?极金?晶种?,系形成于?半?体基板之上,其具有一三?基氯化???及复?金?晶体及一肖特基接触金??极,系形成于??极金?晶种?之上。?方法包括:步?A:提供一半?体基板;步?B:形成一汲极及一源极于?半?体基板之上;步?C:定?出一?极金?晶种?在?半?体基板上之?域;步?D:?行敏化与活化程序,形成??极金?晶种?,于?半?体基板之上;及步?E:?行???程序,形成一肖特基接触金??极于??极金?晶种?之上。
原文???core.languages.zh_TW???
專利號CN102290445A
出版狀態Published - 2011 十二月 21

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