氧化鋅奈米結構氣體感測器及其製造方法

Huey-Ing Chen (Inventor), Wen-Chau Liu (Inventor)

研究成果: Patent

摘要

本發明之氧化鋅奈米結構氣體感測器,係包括:一基板;一第一指叉狀電極,係設置於該基板之表面上且具有複數個第一指狀突起;一第二指叉狀電極,係設置於該基板之表面上,但不與該第一指叉狀電極接觸,該第二指叉狀電極具有複數個與該複數個第一指狀突起相互指叉而不接觸的第二指狀突起,使得該每一第一與第二指狀突起間形成一間距,該間距係為2μm至50μm;一晶種層,係設置於部分該基板之表面以及該第一、第二指叉狀電極上;以及複數個氧化鋅奈米結構,係形成於該晶種層上。藉由上述之結構,以提升本發明對被測氣體之感測靈敏度。
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專利號I428591
出版狀態Published - 1800

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