精密機台之隔震系統

一種精密機台之隔震系統，包含一線性滑軌單元，及四間隔位於機台兩側之彈性限位單元。線性滑軌單元包括二間隔平行之線性滑軌，及四分別可於該等滑軌上滑移並組接於一機台底面之滑塊機構。當震動傳至線性滑軌單元時，該等滑塊機構會連動機台沿滑軌滑移，當機台位移壓縮彈性限位單元時，彈性限位單元會分別積存一可使機台限位並將機台頂推回移之復位彈力。藉由該等滑塊機構可於該等滑軌上線性滑移，及彈性限位單元與機台間具有間距之設計，可降低震動上傳機台之加速度，且可避免與震波發生共振，而可大幅降低機台相對地表之位移量。