超音波低應力精密拋光系統

賴 哲雄 (Inventor), Yeau-Ren Jeng (Inventor), 蔡 孟勳 (Inventor), 范 陽鑑 (Inventor), 王 鎰興 (Inventor), 潘 文玨 (Inventor)

研究成果: Patent

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專利號I275442
IPCB24B-001/04
優先日期24-10-10
提交日期04-10-11
出版狀態Published - 2007 三月 11

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