| 原文 | ???core.languages.zh_TW??? |
|---|---|
| 專利號 | I275442 |
| IPC | B24B-001/04 |
| 優先日期 | 24-10-10 |
| 提交日期 | 04-10-11 |
| 出版狀態 | Published - 2007 3月 11 |
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超音波低應力精密拋光系統
- 賴 哲雄 (Inventor)
- , Yeau-Ren Jeng (Inventor)
- , 蔡 孟勳 (Inventor)
- , 范 陽鑑 (Inventor)
- , 王 鎰興 (Inventor)
- , 潘 文玨 (Inventor)
研究成果: Patent