高功率雷射束之位置感測系統

本發明提出新的、有效而實用的高功率雷射束的線上位置感測系統。此技術應用於高功率雷射加工時，對其加工品質之良莠具關鍵性地位。
本系統使用一分光鏡反射一小部份之雷射束能量，進入一旋轉狹縫雷射位置感測裝置，以達成高功率雷射束位置感測之目的。本系統重要之元件包括：分光鏡(beam splitter)，旋轉狹縫(rotating slit)，聚焦鏡(focusing lens)，及光感測器與放大器(photosensor,Amp.)，數據擷取卡(data acquisition)，及個人電腦(PC-586)。感測的信號與雷射束功率，雷射束半徑，雷射束位置，及旋轉狹縫之縫寬有關。本系統可在2秒內預測高功率雷射束之能量中心，如雷射束之半徑已知，本系統可精確的預測高功率雷射束之絕對位置，同時將感測到的能量信號加以積分，可精確計算出雷射束的功率。