3-D dielectrophoresis chip and the manufacturing method thereof

一種雙層電極式介電泳晶片，適用分離與收集介電泳液體中各種具有不同介電特性的微粒，並包含上下間隔之一上基板與一下基板、一組接於兩基板間之微流道成型層，及二分別被覆於兩基板相向面之電極陣列層。該等基板與流道成型層相配合界定出一可供介電泳液體帶動該等粒子流動之微流道，該等電極陣列層則是分別位於該微流道頂、底側。當該等電極陣列層被施加預定頻率之交流電時，可使具有不同介電特性之微粒在介電泳液體推送通過程中，分別受該等電極陣列層所產生之介電泳力的作用，而被分離與分類收集。