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概要
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A new micro/nano-Lithography based on contact transfer of thin film and Mask Embedded Lithography
Yung Chun Lee
, Cheng Yu Chiu, Shuo Hung Chang
機械工程學系
研究成果
:
Conference contribution
總覽
指紋
指紋
深入研究「A new micro/nano-Lithography based on contact transfer of thin film and Mask Embedded Lithography」主題。共同形成了獨特的指紋。
排序方式
重量
按字母排序
Engineering
Lithography
100%
Thin Films
100%
Feature Size
16%
Nanomaterial
16%
Liquid Phase
16%
Etching Process
16%
Silicon Substrate
16%
Adhesion Layer
16%
Material Science
Lithography
100%
Thin Films
100%
Silicon
33%
Poly Methyl Methacrylate
33%
Metal Film
16%
Nanostructure
16%
Keyphrases
PMMA Resist
20%