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概要
研究單位
研究成果
專案
學生論文
設備
獎項
活動
Activation of high concentrations of phosphorus in germanium by two-steps microwave annealing
Wen Hsi Lee
, Tzu Lang Shih
, Chia Wei Lin
, Yi Chen Chung
電機工程學系
研究成果
:
Conference contribution
總覽
指紋
指紋
深入研究「Activation of high concentrations of phosphorus in germanium by two-steps microwave annealing」主題。共同形成了獨特的指紋。
排序方式
重量
按字母排序
Material Science
Annealing
100%
Germanium
100%
Doping (Additives)
100%
Crystal Structure
33%
Silicon
33%
Ion Implantation
33%
Crystal Lattice
33%
Keyphrases
Epitaxial Recrystallization
40%
Germanium Materials
20%
Engineering
Activation Level
50%