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Advances in selective wet etching for nanoscale NiPt salicide fabrication
Ming Mao Chu, Jung Hua Chou
工程科學系
研究成果
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同行評審
2
引文 斯高帕斯(Scopus)
總覽
指紋
指紋
深入研究「Advances in selective wet etching for nanoscale NiPt salicide fabrication」主題。共同形成了獨特的指紋。
排序方式
重量
按字母排序
Engineering & Materials Science
Wet etching
Platinum
Silicides
Fabrication
Nickel
Sheet resistance
Sulfuric acid
Oxide semiconductors
Reaction rates
Dissolution
Hot Temperature
Acids
Oxidation
Temperature
Metals
Physics & Astronomy
platinum
etching
silicides
fabrication
chemistry
nickel
sulfuric acid
acceleration (physics)
dissolving
reaction kinetics
CMOS
acids
trends
oxidation
damage
scaling