CONDUCTIVE PROBE AND INSULATING TRENCHES MANUFACTURING METHOD THEREOF

本發明揭露一種導電探針及其絕緣溝槽製造方法。導電探針係應用於原子力顯微術，並包括一基座、複數支持元件、複數探針頭以及一導電層。基座具有一表面及複數突起部，該等突起部間隔配置於表面上，兩相鄰突起部之間具有一絕緣溝槽。該等支持元件設置於基座，並突出於基座。該等探針頭對應設置於該等支持元件遠離基座之一端。導電層覆蓋基座之表面、該等突起部、該等支持元件及該等探針頭，兩相鄰支持元件上之導電層係藉由至少一絕緣溝槽而彼此電性隔離。