Deep reactive ion etching of silicon

A. A. Ayön, K. S. Chen, K. A. Lohner, S. M. Spearing, H. Sawin, M. A. Schmidt

研究成果: Conference article同行評審

17 引文 斯高帕斯(Scopus)

指紋

深入研究「Deep reactive ion etching of silicon」主題。共同形成了獨特的指紋。

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Chemical Compounds