Development of a bridge-microcantilever by cmos process for surface stress measurement

Shih-Ming Yang, Chun Chang, Tsung I. Yin

研究成果: Conference contribution

原文English
主出版物標題Proceedings of the ASME Summer Bioengineering Conference 2009, SBC2009
頁面883-884
頁數2
版本PART B
DOIs
出版狀態Published - 2009 十二月 1
事件11th ASME Summer Bioengineering Conference, SBC2009 - Lake Tahoe, CA, United States
持續時間: 2009 六月 172009 六月 21

出版系列

名字Proceedings of the ASME Summer Bioengineering Conference 2009, SBC2009
號碼PART B

Other

Other11th ASME Summer Bioengineering Conference, SBC2009
國家/地區United States
城市Lake Tahoe, CA
期間09-06-1709-06-21

All Science Journal Classification (ASJC) codes

  • 生物技術
  • 生物工程

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