Direct oxidation of si1-xGex layers using vacuum-ultra-violet light radiation in oxygen
- Liang Po Chen
- , Yuen Chang Chan
- , Shoou Jinn Chang
- , Guo Wei Huang
- , Chun Yen Chang
研究成果: Article › 同行評審
15
連結會在新分頁中打開
引文
斯高帕斯（Scopus）