Electro-Deposition System of Target and Method Thereof

本發明係提供用於製作靶材的一種電鍍系統，其包括用以連結一待鍍物的一電極、用以直接施加一熱能於該待鍍物一能量提供裝置、用以浸泡該待鍍物的一電鍍液、以及提供一電流的外接電路。而本發明之電鍍方法係藉由該能量提供裝置直接對該待鍍物加熱，並由該外接電路施加該電流，使該電鍍液、該電極以及該待鍍物進行一電鍍製程。