Gas cluster ion beam application to porous low-k dielectrics

John Hautala, Greg Book, Brian White, Chris Doughty, Dung Ching Perng, Terukazu Kokubo

研究成果: Conference article › 同行評審

3 引文 斯高帕斯（Scopus）

指紋

深入研究「Gas cluster ion beam application to porous low-k dielectrics」主題。共同形成了獨特的指紋。

Chemical Compounds

Engineering & Materials Science