HfSiON n-MOSFETs using low-work function HfSiχ gate

C. H. Wu, B. F. Hung, A. Chin, S. J. Wang, F. Y. Yen, Y. T. Hou, Y. Jin, H. J. Tao, S. C. Chen, M. S. Liang

研究成果: Article同行評審

7 引文 斯高帕斯(Scopus)

指紋

深入研究「HfSiON n-MOSFETs using low-work function HfSi<sub>χ</sub> gate」主題。共同形成了獨特的指紋。

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