IMPROVED MOLD RELEASING LAYER OF REVERSE IMPRINTING LITHOGRAPHY AND THE APPLYING METHOD OF THE SAME

貢獻的翻譯標題: 逆式壓印圖案化之改質脫模層及其運用方法

Franklin Chau-Nan Hong (Inventor)

研究成果: Patent

摘要

為了改善習知逆式微奈米壓印蝕刻技術中,阻劑不易填入具有抗黏著層處理之圖案化模板溝槽內之問題,提供一種逆式壓印圖案化之改質脫模層,至少包括位於一逆式壓印模板上,具有一壓印圖案之一側之抗黏著層;以及位於該抗黏著層上之界面層。利用界面層之界面活性劑,於已有抗黏著層處理的模板上做表面改質,再以接觸的方式將模板上之圖案轉印於所需要的任意基板上,使阻劑能完全的填入模板溝槽內部。
貢獻的翻譯標題逆式壓印圖案化之改質脫模層及其運用方法
原文English
專利號I254359
出版狀態Published - 1800

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